HB405-W4T 勻膠機(塗膠機)用于半導體矽片,載玻片,晶片,基片,I跳關TO 導電玻璃 等工(gōng)藝,制版的算微表面塗覆,具有轉速穩定和啟動迅速等優點,保證塗膠厚度的 一緻性你歌和均勻性。
技術參數及要求:
基片尺寸:Φ5-Φ100mm 圓片,*大(dà) 10樂可0×100mm2方片
轉速:250-9000RPM
旋塗設置:任意階段之間均可任意升降調節
轉速穩定性:<±1%
旋塗均勻性:<1%
旋塗工(gōng)藝階段:6 段
旋塗時(shí)間:單步工(gōng)藝 0-1800s,可哥笑根據客戶需求調節
整機尺寸(長(cháng)寬高):210mm×280mm×訊頻248mm
裸機尺寸(長(cháng)寬高):210mm×280mm×1動雪55mm
電機功率:40W
适應材料:矽片、玻璃、石英、金(jīn)屬不信、GaAs、GaN、InP 等各種材料
配套無油真空泵參數:
型号:KW-550A/KW-業友550T
抽速:1.5 升/秒
抽氣速率:>60L/min
功率:320W
噪音:50db
*低(dī)真空度:-700mmHg
重量:7.3Kg
尺寸(長(cháng)寬高):240mm×160mm×230m路歌m